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当电子平均能量超过目标治理物分子化学键能时，分子键断裂，达到消除气态污染物的目的。

低温等离子体去除污染物的机理：

等离子体化学反应过程中，低温等离子设备等离子体传递的化学能量在反应过程中能量的传递大致如下：

(1) 电场＋电子→高能电子

(2) 高能电子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团) 活性基团

(3) 活性基团＋分子(原子)→生成物 热

(4) 活性基团＋活性基团→生成物 热

结构喷淋塔内填料层作为气液两相间接触构件的传质设备。填料塔底部装有填料支承板，填料以乱堆方式放置在支承板上。填料的上方安装填料压板，以防被上升气流吹动。喷淋塔喷淋液从塔顶经液体分布器喷淋到填料上，并沿填料表面流下。气体从塔底送入，经气体分布装置分布后，与液体呈逆流连续通过填料层的空隙，在填料表面上，气液两相密切接触进行传质。

废气处理设备涉及废气浓度其安全性主要涉及转轮及RTO安全性。设备整体需考虑脱附管路中废气的浓度，管路中设置lt;LELgt;废气浓度检测仪及时反馈管路中废气浓度，遇到浓度超标时及时混新风降浓度排放。

沸石转轮作为沸石浓缩的重要组成部分，其主要成分主要是沸石及纤维纸为基材加工而成。纤维纸对温度的变化为敏感，因此设计及方案选择方面应注意温度。沸石转轮脱附区的高温气体温控要求，因此对阀门选型方面要求较高。选型方面考虑使用一次风或冷却风采用二次换热的形式达到高温脱附温度要求。